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| 일본 일렉트로플레이팅 엔지니어스, 반도체 웨이퍼용 컵식 초소형 도금 실험장치 ‘RAD-Plater’ 개발 |
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| 대량생산 라인에서의 조기 과제 해결에 도움 |
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아이애드피알 
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TANAKA 귀금속 그룹의 도금사업을 전개하는 일본 일렉트로플레이팅 엔지니어스 주식회사(이하 EEJA)가 대량생산 기계와 동일한 피막을 실현하는 반도체 웨이퍼용 컵식 초소형 도금 실험장치 ‘RAD-Plater’를 개발하여 7월 15일부터 판매 중이다.
‘RAD-Plater’는 2~8인치의 반도체 웨이퍼 제조용 초소형 도금 실험장치이다. 폭 800mm, 깊이 700mm로 대량생산 기계에 비해 작고, 일반적인 설비의 100볼트 전압과 압축 공기만으로 운용이 가능하다. 대응 도금액은 금, 은, 팔라듐, 구리, 니켈 등 외에 합금, 무연 타입 등 다양하며 도금액의 양은 딥식의 약 절반인 10리터 이하로 줄여 실험 비용도 절감했다. 컵은 EEJA의 스타컵을 도입하여 도금 막 두께의 균일성과 기포 제거성, 그리고 깊은 비아에 대한 매립성이 뛰어난, 대량생산 수준의 도금 품질을 실현했다.
또한, 이온 공급량을 증가시켜 높은 전류밀도에 의해 도금 시간이 단축되었다. 실험 기계이면서도 대량생산과 동등한 도금을 할 수 있으므로 개발 단계에서 수율의 예상 등 대량생산 제조를 위한 과제의 조기 대응이 가능하게 되었고, 대량생산 라인으로 유연하게 전개할 수 있는 것도 특징이다. 8인치 웨이퍼에 대응하여 사용 도금 액량 10L 이하에서의 컵식에 의한 반도체 웨이퍼 제조용 도금 실험장치의 판매는 세계 최초이다.
대량생산 도금 라인을 가진 메이커의 개발 부문 대부분은 도금액 실험을 장치 메이커 등에 위탁해서 평가하고 있었지만, ‘RAD-Plater’를 구입해서 자사에서 실험을 함으로써 개발 시간을 대폭 단축할 수 있게 된다. 또 이제까지 대량생산 기계를 구입해서 자사에서 실험을 하던 고객에 대해서도 대량생산 기계에 비해 1/3~1/4의 가격대로 ‘RAD-Plater’를 제공할 수 있기 때문에 큰 폭의 비용 절감을 실현할 수 있다. EEJA는 메이커 연구개발 시험제작 부문이나 대학 등의 교육연구기관, 재료 메이커 등에 대해 ‘RAD-Plater’와 함께 도금액을 샘플 제공함으로써 대량생산 시의 도금 장치 및 도금액의 판매 향상을 도모한다. EEJA는 2017년까지 연간 5억엔의 ‘RAD-Plater’ 매출을 목표로 한다.
한편 다나까 귀금속 그룹은 1885년(메이지18년) 창업 이래, 귀금속을 중심으로 한 사업 영역에서 폭넓은 활동을 전개해 왔다. 2010년4월1일에 TANAKA홀딩스 주식회사를 지주회사(그룹의 모회사)로 하는 형태로 그룹 재편성을 완료했다. 지배체제를 강화함과 동시에 신속한 경영과 보다 빠른 업무 집행을 효율적으로 이루어나감으로써, 고객 서비스를 더욱 향상시키는 것을 목표로 하고 있다. 또한, 귀금속에 종사하는 전문가 집단으로서 각 그룹 회사가 연계, 협력하여 다양한 제품과 서비스를 제공하고 있다.
일본 국내에서는 톱클래스의 귀금속 취급량을 자랑하는 다나까 귀금속 그룹에서는 공업용 귀금속 재료 개발부터 제품의 안정된 공급, 장식품과 귀금속을 활용한 저축상품제공 등을 오랫동안 실시해 왔다. 앞으로도 그룹 전체가 귀금속에 대한 프로로서 고객 여러분의 삶의 질 향상을 위하여 계속해서 공헌해 나가고자 한다.
/ 아이애드피알 인터넷부 엄재성 A.E. news@iadpr.net
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| 기사입력: 2015/07/29 [17:52] 최종편집: ⓒ iadpr.net |
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